高出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーの開発に向けて、加熱・加圧した水を使用して基板からAlGaN半導体層を剥離する技術とメカニズムを解明
工学研究科 電気電子工学専攻 教授 三宅 秀人
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工学研究科 電気電子工学専攻 教授 三宅 秀人
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